MEMS چیست

این کتاب مقدمه ای غیر تخصصی در حوزه هیجان انگیزی از سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) را فراهم می کند که به تفصیل به شرح مواد مورد استفاده در تولید MEMS از جمله سیلیکون، پلیمرها، شیشه و لایه های کوارتز، طراحی و ساخت MEMS برای نازل، فشار و سنسورهای اینرسی، سوپاپ ها، نمایش، و برنامه های کاربردی دیگر می پردازد.