ساخت ویفر سیلکون
-
دانلود کتاب Crystal Growth and Evaluation of Silicon for VLSI and ULSI
این کتاب مرجعی ضروری برای روش های مختلف انتخاب ترکیبات حاوی سیلیکن پایه، جدایی از سیلیکون به عنوان متالورژی خالص درجه سیلیکون ، تصفیه پس از آن، رشد تک بلور، و نقص و ارزیابی انحرافات در کریستال رشد کرده است. این کتاب روش های مختلف که برای رشد بلورهای سیلیکون تک استفاده می شود را توصیف میکند و توضیح میدهد که چگونه شمش تک بلور رشد یافته به یک ویفر سیلیکون کامل برای ساخت مدار یکپارچه تبدیل میشود.